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LiteScope™ AFM in SEM / NenoVision

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AFM in SEM™은,

 

SEM 내 쉬운 설치로 AFM의 표면 이미지(단차 측정, 거칠기 측정) 뿐만 아니라 다양한 전기적 특성(Conductive AFM, KPFM, EFM, STM)을 측정할 수 있습니다. 

 

마이크로 크기에서 나노 크기까지의 물체에 대한 AnalyzeCharacterize 필요성이 빠르게 증가하고 있습니다. SEM과 AFM 기술은 광범위한 사용자들이 가장 흔하게 사용하고 있으며,

 

micro-nano characterization의 표준으로써 거의 유일하다고 볼 수 있습니다. In-situ AFM-in-SEM 측정은 두 기술의 장점을 결합하고 SEM의 2차원 영상과 AFM의 3차원 영상을 동시에 상호 연관시킬 수 있습니다.