AFM in SEM¢âÀº,
SEM ³» ½¬¿î ¼³Ä¡·Î AFMÀÇ Ç¥¸é À̹ÌÁö(´ÜÂ÷ ÃøÁ¤, °ÅÄ¥±â ÃøÁ¤) »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ´Ù¾çÇÑ Àü±âÀû Ư¼º(Conductive AFM, KPFM, EFM, STM)À» ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¸¶ÀÌÅ©·Î Å©±â¿¡¼ ³ª³ë Å©±â±îÁöÀÇ ¹°Ã¼¿¡ ´ëÇÑ AnalyzeCharacterize Çʿ伺ÀÌ ºü¸£°Ô Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. SEM°ú AFM ±â¼úÀº ±¤¹üÀ§ÇÑ »ç¿ëÀÚµéÀÌ °¡Àå ÈçÇÏ°Ô »ç¿ëÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç,
micro-nano characterizationÀÇ Ç¥ÁØÀ¸·Î½á °ÅÀÇ À¯ÀÏÇÏ´Ù°í º¼ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. In-situ AFM-in-SEM ÃøÁ¤Àº µÎ ±â¼úÀÇ ÀåÁ¡À» °áÇÕÇÏ°í SEMÀÇ 2Â÷¿ø ¿µ»ó°ú AFMÀÇ 3Â÷¿ø ¿µ»óÀ» µ¿½Ã¿¡ »óÈ£ ¿¬°ü½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.